Fluorieranlagen benötigen ein Absorbersystem, über das am Ende des Prozesses die Restgase geleitet und neutralisiert werden. Das Volumen der Absorbersysteme wird dem Volumen der Kammer bzw. der Fluorkonzentration, die im Prozess verwendet wird, angepasst. Es stehen zwei Absorbergrößen zur Verfügung, die je nach Luftleistung zwischen 1.500 und 20.000 m³/h eingesetzt werden können. Diese erfüllen die Anforderungen nach BiMSch (Bundes-Immissionsschutzgesetz).
Um die erfolderlichen Immissionswerte zu erreichen, basiert die Auslegung des Absorbiermaterials auf der Verwendung von JURA-Kalk (CaCO3).
Bei kleineren Prozessanlagen, wie sie häufig in Laboren betrieben werden, kann aufgrund der geringen Abgasmengen aber hohen Konzentrationen, mit einem Aluminiumoxidabsorber (Al2O3) gearbeitet werden.
Die beiden Absorbersysteme können dann kombiniert werden, wenn mit hohen Fluorkonzentrationen gearbeitet wird. Dann werden die Restgase zunächst über den Aluminiumabsorber geleitet, um die Spitzenbelastung abzubauen. Anschließend wird der verbliebene Rest durch das CaCO3 neutralisiert.
Die Standzeit der Absorber hängt von der durchgesetzten Gasmenge ab. Die Restgase werden automatisch und kontrolliert aus der Kammer ausgeschleust.